Optikprüfung von refraktiven Mikrolinsen (Optical Testing of Refractive Microlenses)

Abstract

Die Optikprüfung von refraktiven Mikrolinsen erfordert einerseits Auflichtmessungen zur Erfassung von Formfehlern und andererseits Funktionsprüfungen im Durchlicht, wobei die Wellenaberrationen gemessen werden. In vielen Fällen ergibt sich die optische Linsenfunktion durch gekrümmte Grenzflächen zwischen unterschiedlichen Dielektrika. In diesem Fall wird man sich hauptsächlich für die Flächenabweichungen interessieren. Dazu sind Auflichtinterferometer nach Twyman-Green und im Sonderfall von Zylinderlinsen auch Messungen in streifender Inzidenz mit Hilfe von diffraktiven Strahlteilerelementen geeignet. Die Funktionsprüfung erfolgt am besten in einfachem Durchgang, insbesondere bei beträchtlichen Aberrationen, wie sie bei Mikrolinsen häufig vorkommen. Als Interferometer eignen sich das Mach-Zehnder-, aber auch Shearinginterferometer sowie neuerdings auch Wellenfrontsensoren. Besondere Maßnahmen sind bei der Prüfung ganzer Linsenfelder erforderlich. Das gilt insbesondere dann, wenn Linsenfelder mit höheren Aperturen geprüft werden sollen. In gesonderten Kapiteln werden die physikalischen Grundlagen spezieller Verfahren zur Anpassung an die Prüfprobleme bei Mikrolinsen behandelt.