Rückführbare Koordinatenmesstechnik für Mikrobauteile: Grundlagen und Beispiele (Traceable Coordinate Metrology for Microparts: Basic Principles and Examples)-Reference-Cited by-同舟云学术

Rückführbare Koordinatenmesstechnik für Mikrobauteile: Grundlagen und Beispiele (Traceable Coordinate Metrology for Microparts: Basic Principles and Examples)

Published:2008-05 Issue:5 Volume:75 Page:318-326
ISSN:2196-7113
Container-title:teme
language:en
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Author:

Härtig Frank,Neuschaefer-Rube Ulrich

Abstract

Der Artikel beschreibt die Rückführung von Mikrobauteilen in der Koordinatenmesstechnik. Mikrobauteile sind dabei 1D- bis 3D-Objekte, die Geometrien mit Abmessungen von wenigen μm bis ca. 1 mm aufweisen. Es werden Messgeräte, Sensoren und Normale beschrieben sowie Hinweise auf zukünftige Entwicklungen gegeben.

Publisher

Walter de Gruyter GmbH

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Instrumentation

Link

https://www.degruyter.com/document/doi/10.1524/teme.2008.0874/pdf

Reference3 articles.

1. Modelling and investigation of the mechanical and electrical characteristics of the silicon 3D-boss microprobe for force and deflection measurements

2. Opto-taktiler Sensor zur 2D- und 3D-Messung kleiner Strukturen mit Koordinatenmeßgeräten Opto-tactile Sensor for 2D- and 3D Measurement of Small Structures on Coordinate- Measuring Machines

3. Erfassung von Standardgeometrieelementen im Mikrometerbereich: Herausforderungen und Lösungsansätze (Characterization of Standard-Geometry Micro Structures: Chances and Challenges)

Cited by 2 articles. 订阅此论文施引文献订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Novel measurement standard for internal involute microgears with modules down to 0.1 mm;Measurement Science and Technology;2018-11-20

2. Wear recording at micro deep drawing tools with comparative digital holography;Journal of the European Optical Society: Rapid Publications;2012-10-21