Affiliation:
1. TU München, Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik, München, Deutschland
Abstract
Zusammenfassung
Die Form von optisch rauen Oberflächen lässt sich mit Hilfe von Speckle-Interferometern aus variabler Messdistanz selbst in schwer zugänglichen Regionen präzise vermessen. Durch die Einbindung eines Micro-Mirror-Arrays wurde erstmals versucht, die Phasenfront der Referenzwelle variabel an messtechnisch kritische Oberflächenbereiche zu adaptieren, um die bisherigen Grenzen der Auflösbarkeit zu überwinden. Im Rahmen dieser Publikation werden erste Messresultate vorgestellt.
Subject
Electrical and Electronic Engineering,Instrumentation
Cited by
5 articles.
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