Author:
Triltsch Udo,Hansen Ulli,Büttgenbach Stephanus
Abstract
Abstract
In diesem Beitrag wird BICEPS präsentiert, ein T-CAD-Werkzeug zur Unterstützung im Mikrosystementwurf. Ursprünglich zur Steuerung des Kontrollflusses im Entwurfsprozess nasschemisch geätzter Siliziumkomponenten konzipiert, wurde es um ein regelbasiertes Werkzeug zur Analyse und Verifikation von Prozessketten erweitert. Im ersten Teil wird eine Übersicht über die Funktionalität der Entwurfsumgebung gegeben, der zweite Teil konzentriert sich auf die Validierung von Prozessketten.
Subject
Electrical and Electronic Engineering,Instrumentation
Cited by
6 articles.
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1. Sonderverfahren;Dubbel Taschenbuch für den Maschinenbau 2: Anwendungen;2020
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