Ethoxy and silsesquioxane derivatives of antimony as dopant precursors: unravelling the structure and thermal stability of surface species on SiO2

Author:

Alphazan T.12345,Florian P.6789,Thieuleux C.1011129ORCID

Affiliation:

1. Univ. Grenoble Alpes

2. FR-38000 Grenoble

3. CEA

4. LETI

5. Minatec Campus

6. Conditions Extrêmes et Matériaux: Haute Température et Irradiation

7. CNRS-UPR 3079

8. 45071 Orléans, Cedex 2

9. France

10. C2P2

11. CPE Lyon

12. 69616 Villeurbanne cedex

Abstract

We report here the controlled preparation of SiO2 supported Sb-(mono)layers and their thorough characterization (in situ IR, solid-state NMR, elemental analyses) for the non-destructive Sb-doping of semiconductors.

Publisher

Royal Society of Chemistry (RSC)

Subject

Physical and Theoretical Chemistry,General Physics and Astronomy

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