1. Laboratory of Microsystems LMIS4, École Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), Lausanne, Switzerland
2. Institut FEMTO-ST, Département AS2M, Univ. Bourgogne Franche-Comté, CNRS, Besançon, France
3. Unité RIGHT, UMR INSERM 1098, Établissement Français du Sang Bourgogne Franche-Comté, Besançon, France