Nanoscale thermal diffusion during the laser interference ablation using femto-, pico-, and nanosecond pulses in silicon

Author:

Gedvilas Mindaugas123ORCID,Indrišiūnas Simonas123,Voisiat Bogdan12345,Stankevičius Evaldas123,Selskis Algirdas123,Račiukaitis Gediminas123

Affiliation:

1. Center for Physical Sciences and Technology

2. LT-02300 Vilnius

3. Lithuania

4. Institut für Fertigungstechnik

5. Technische Universität Dresden

Abstract

New semi-empirical equation combining thermal modulation depth, interference period, laser pulse duration and thermal diffusivity for LIA quality is introduced.

Funder

Lietuvos Mokslo Taryba

Publisher

Royal Society of Chemistry (RSC)

Subject

Physical and Theoretical Chemistry,General Physics and Astronomy

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