1. Key Laboratory of Microsystems and Microstructures Manufacturing
2. Micro/Nano Technology Research Centre
3. Harbin Institute of Technology
4. Harbin 150080
5. China
6. Institut de Chimie et Biochimie Moléculaires et Supramoléculaires
7. Universite Claude Bernard Lyon 1
8. F-69622 Villeurbanne cedex
9. France