Investigation of AlN plasma induced by a laser into a vacuum and nitrogen ambience

Author:

Tekili Adel12ORCID,Abdelli-Messaci Samira2ORCID,Kaloune Samia2,Dekhira Azeddine1,Lafane Slimane2ORCID

Affiliation:

1. Faculty of Chemistry, University of Sciences and Technology, Houari Boumediene (USTHB), BP 32 EL Alia 16111, Bab Ezzouar Algiers, Algeria

2. Division Milieux Ionisés et lasers, Centre de Développement des Technologies Avancées (CDTA), Cité du 20 août 1956 BP 17, Algiers, Baba Hassen, Algeria

Abstract

The present study provides detailed information on AlN plasma species kinetic. Feature as the spatial and temporal stratification of plasma species should be of great interest for both fundamentals and applications concerns.

Funder

Direction Générale de la Recherche Scientifique et du Développement Technologique

Publisher

Royal Society of Chemistry (RSC)

Subject

Spectroscopy,Analytical Chemistry

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