Analysis of Adsorption State of Additive for Copper Electrodeposition using AFM, QCM-D and Ellipsometry
Author:
Affiliation:
1. Central Research Institute, Mitsubishi Materials Corporation
Publisher
The Surface Finishing Society of Japan
Subject
General Engineering
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/72/3/72_122/_pdf
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