10.4139/sfj.57.636
Author:
Publisher
The Surface Finishing Society of Japan
Subject
General Engineering
Reference32 articles.
1. 1) K. Komachi ; J. Vac. Sci. Technol. A, 11, 164 (1993)および12, 769 (1994).
2. Mode identification of surface waves excited in a planar microwave discharge
3. Production of Large-Diameter Uniform Plasma in mTorr Range Using Microwave Discharge
4. 4) K. Senda, K. Umehara and Y. Sakamoto ; IEICE Trans. on Flect, E86-C, 12, 2479 (2003).
5. Surface Wave Plasma Production Employing High-Permittivity Material for Microwave Window
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