Formation of Diamond-Like Carbon Film on Organic Substrate by High Power Impulse Magnetron Sputtering
Author:
Affiliation:
1. Faculty of Science and Technology, Meijo University
2. Faculty of Engineering, Chiba Institute of Technology
3. Faculty of Engineering, Gifu University
Publisher
The Surface Finishing Society of Japan
Subject
General Engineering
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/73/1/73_47/_pdf
Reference34 articles.
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1. Effect of pulse width on deposition of diamond-like carbon on high-power pulsed magnetron sputtering;Japanese Journal of Applied Physics;2023-06-29
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