Laser processing of silicon

Author:

Boyd Ian W.,Wilson John I. B.

Publisher

Springer Science and Business Media LLC

Subject

Multidisciplinary

Reference165 articles.

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2. Khaibullin, I. B., Shtyrkov, E. I., Zaripov, M. M., Bayzitov, R. M. & Galjanudinov, M. F. Radiat. Eff. 36, 225 (1978).

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