Distinguishing the Rhombohedral Phase from Orthorhombic Phases in Epitaxial Doped HfO2 Ferroelectric Films

Author:

Petraru Adrian1ORCID,Gronenberg Ole2,Schürmann Ulrich23,Kienle Lorenz23,Droopad Ravi4,Kohlstedt Hermann13

Affiliation:

1. Nanoelectronics, Institute of Electrical Engineering and Information Engineering, Kiel University, Kiel 24143, Germany

2. Institute for Materials Science − Synthesis and Real Structure, Faculty of Engineering, Kiel University, Kaiserstraße 2, Kiel D-24143, Germany

3. Kiel NanoSurface and Interface Science KiNSIS, Kiel University, Christian-Albrechts-Platz 4, Kiel D-24118, Germany

4. Ingram School of Engineering, Texas State University, San Marcos, Texas 78666, United States

Funder

Deutsche Forschungsgemeinschaft

Publisher

American Chemical Society (ACS)

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