1. Dipartimento di Ingegneria dell’Informazione, Università di Pisa, via G. Caruso 16, 56122 Pisa, Italy
2. Nanophysics, Istituto Italiano di Tecnologia, Via Morego 30, 16123 Genova, Italy
3. Dipartimento di Ingegneria Industriale e dell’Informazione, Università di Pavia, Via Ferrata 5, 27100 Pavia, Italy
4. MEMS Technology Development, AMG Group, STMicroelectronics, Via C. Olivetti 2, 20041 Agrate Brianza, Italy