1. Compound Semiconductor Technology, RWTH Aachen University, Sommerfeldstr. 18, 52074Aachen, Germany
2. PGI-7&10 and JARA-FIT, Forschungszentrum Jülich GmbH, Wilhelm Johnen Straße, 52428Jülich, Germany
3. AIXTRON SE, Dornkaulstr. 2, 52134Herzogenrath, Germany