1. INRS-Énergie, Matériaux et Télécommunications, Université du Québec, J3X 1S2 Varennes, Canada, Department of CVD-Technology, Leibniz-Institute of New Materials, D-66123 Saarbruecken, Germany, EME/XaRMAE/IN2UB, Departament d’Electrònica, Universitat de Barcelona, Barcelona, Spain, Electronic Nanosystems S. L., Barcelona, Spain, and Institute of Inorganic Chemistry, University of Cologne, Cologne, Germany