1. Sensors, Actuators and Microsystems
Laboratory, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne, Rue Jaquet Droz 1, 2000 Neuchâtel,
Switzerland
2. Optics & Photonics Technology Laboratory, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne, Rue Breguet 2, 2000 Neuchâtel, Switzerland
3. Institut des microtechnologies
appliquées, Haute école ARC ingénierie, HES-SO, Eplatures-Grise 17, 2300 La Chaux-de-Fonds, Switzerland