1. Laboratoire Silicium Nanoélectronique Photonique et Structure, Service de Physique des Matériaux et Microstructures, Institut Nanosciences et Cryogénie, Commissariat à l Energie Atomique, 17 rue des Martyrs, F-38054 Grenoble Cedex, France
2. Laboratoire des Technologies de la Microélectronique, UMR-5129, CNRS-CEA, 17 rue des Martyrs, F-38054 Grenoble Cedex, France