1. Light Technology Institute, Karlsruhe Institute of Technology, Engesserstrasse 13, 76131 Karlsruhe, Germany
2. InnovationLab GmbH, Speyerer Strasse 4, 69115 Heidelberg, Germany
3. Institut für Hochfrequenztechnik, Technische Universität Braunschweig, Schleinitzstrasse 22, 38106 Braunschweig, Germany
4. Surface Science Division, Materials Science Institute, Technische Universität Darmstadt, Jovanka-Bontschits-Strasse 2, 64287 Darmstadt, Germany
5. Institute of Microstructure Technology, Karlsruhe Institute of Technology, Hermann-von-Helmholtz-Platz 1, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Germany