1. Centre Nacional de Microelectrònica (IMB-CNM, CSIC), Barcelona, Spain, Departament de Biologia Cel·lular, Fisiologia i Immunologia, Universitat Autònoma de Barcelona, 08193-Bellaterra, Barcelona, Spain, and Institut für Mikrotechnik, Technische Universität Braunschweig, 38124 Braunschweig, Germany