1. Institute for Particle Technology, Technische Universität Braunschweig, 38104 Braunschweig, Germany
2. Laboratory for Emerging Nanometrology, Technische Universität Braunschweig, 38106 Braunschweig, Germany
3. Institute of Microtechnology, Technische Universität Braunschweig, 38092 Braunschweig, Germany