Spectroscopic Ellipsometry Study on Tuning the Electrical and Optical Properties of Zr-Doped ZnO Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition

Author:

Bohórquez Carolina1ORCID,Bakkali Hicham23,Delgado Juan J.34ORCID,Blanco Eduardo23ORCID,Herrera Manuel5,Domínguez Manuel23

Affiliation:

1. Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada (CICESE), 22860 Ensenada, Baja California, Mexico

2. Departamento de Física de la Materia Condensada, Universidad de Cádiz, Campus de Puerto Real, E11519 Puerto Real, Spain

3. Institute of Research on Electron Microscopy and Materials (IMEYMAT), Universidad de Cádiz, Campus de Puerto Real, E11519 Puerto Real, Spain

4. Departamento Ciencias de los Materiales e Ingeniería Metalúrgica y Química Inorgánica, Universidad de Cádiz, Campus de Puerto Real, E11519 Puerto Real, Spain

5. Centro de Nanociencias y Nanotecnología, Universidad Nacional Autónoma de México, 22860 Ensenada, Baja California, Mexico

Funder

Consejo Nacional de Ciencia y Tecnolog?a

Universidad de C?diz

Publisher

American Chemical Society (ACS)

Subject

Materials Chemistry,Electrochemistry,Electronic, Optical and Magnetic Materials

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