1. Karlsruher Institut für Technologie, Institut
für Funktionelle Grenzflächen, Hermann-von-Helmholtz-Platz 1, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Germany
2. Karlsruher Institut für Technologie, Institut
für Mikroverfahrenstechnologie, Hermann-von-Helmholtz-Platz 1, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Germany
3. ION-TOF GmbH, Heisenbergstr. 15, 48149 Münster, Germany