Fabrication of ZnO Nanobrushes by H2–C2H2 Plasma Etching for H2 Sensing Applications

Author:

Kohlmann Niklas1ORCID,Hansen Luka2ORCID,Lupan Cristian3,Schürmann Ulrich1,Reimers Armin1,Schütt Fabian1ORCID,Adelung Rainer1,Kersten Holger2ORCID,Kienle Lorenz1

Affiliation:

1. Institute for Materials Science, Kiel University, 24143 Kiel, Germany

2. Institute of Experimental and Applied Physics, Kiel University, 24118 Kiel, Germany

3. Center for Nanotechnology and Nanosensors, Department of Microelectronics and Biomedical Engineering, Technical University of Moldova, Chişinǎu 2004, Moldova

Funder

Deutsche Forschungsgemeinschaft

Str??ls??kerhetsmyndigheten

Publisher

American Chemical Society (ACS)

Subject

General Materials Science

同舟云学术

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