1. Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V., Permoserstrasse 15, 04318 Leipzig, Germany, Otto-Schott-Institut, Universität Jena, Fraunhoferstrasse 6, 07743 Jena, Germany, Physikalisches Institut, Westfälische Wilhelms-Universität, Wilhelm-Klemm-Strasse 10, 48149 Münster, Germany, and Europe Nanoport, FEI Company, Achtseweg Noord 5, Bldg, 5651 GG Eindhoven, The Netherlands