Annihilation Behavior of Planar Defects on Phosphorus-Doped Silicon at Low Temperatures

Author:

Im Dong-Hyun1,Kim Yong In1,Jeong Myoungho1,Park Kwang Wuk1,Kim Sung Kyu1,Yuk Jong Min1,Nam Woo Hyun1,Kim Sang Yun1,Lee Kong-Soo2,Im Ki-Vin2,Lim Hanjin2,Lee Jeong Yong1

Affiliation:

1. Department of Materials Science and Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST), Daejeon 305-701, Korea

2. Process Development 2 Team, Semiconductor R&D Center, Samsung Electronics Co. Ltd., Hwasung, 445-330, Korea

Publisher

American Scientific Publishers

Subject

Condensed Matter Physics,General Materials Science,Biomedical Engineering,General Chemistry,Bioengineering

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