ПРОЦЕССЫ НИТРИЗАЦИИ ПОДЗАТВОРНОГО ДИЭЛЕКТРИКА И ИХ ВЛИЯНИЕ НА ИЗМЕНЕНИЕ ПЛОТНОСТИ МЕЖСЛОЙНЫХ СОСТОЯНИЙ МДП-СТРУКТУР
-
Published:2023-12-15
Issue:15
Volume:
Page:
-
ISSN:2226-4442
-
Container-title:Physical and Chemical Aspects of the Study of Clusters, Nanostructures and Nanomaterials
-
language:ru
-
Short-container-title:
Author:
Черкесова Н.В.,Мустафаев Г.А.,Мустафаев А.Г.
Publisher
Tver State University
Subject
Applied Mathematics