Author:
Сигаев Александр Петрович,Аверин Игорь Александрович,Карманов Андрей Андреевич,Пронин Игорь Александрович,Якушова Надежда Дмитриевна
Abstract
Представлены результаты теоретических и экспериментальных исследований свойств поверхности наноструктурированных плёнок на основе диоксида олова методами ИК-Фурье-спектроскопии, эллипсометрии, а также индикаторным методом распределения центров адсорбции. Для дополнительной постобработки наноструктурированных плёнок с целью активации адсорбционных центров использовано травление в индуктивно-связной плазме.
The results of theoretical and experimental studies of surface properties of nanostructured films based on tin dioxide using Fourier-transform infrared spectroscopy, ellipsometry and the indicator method of the distribution of adsorption centers are presented. Etching in inductively coupled plasma was used for additional post-processing of nanostructured films in order to activate the adsorption centers.
Cited by
2 articles.
订阅此论文施引文献
订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献