Efficient Modeling of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers Using a Combination of Finite and Lumped Element Modeling
Author:
Affiliation:
1. CEA-Leti, University Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France
Publisher
MDPI
Link
https://www.mdpi.com/2504-3900/97/1/60/pdf
Reference2 articles.
1. An Improved Lumped Element Model for Circular-Shape PMUTs;Pala;IEEE Open J. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control,2022
2. Equivalent Circuit-Based Analysis of CMUT Cell Dynamics in Arrays;Oguz;IEEE Open J. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control,2013
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1. Equivalent electrical circuits for electroacoustic MEMS design: a review;Journal of Micromechanics and Microengineering;2024-07-30
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