Metal Gate/High-k CMOS Evolution from Si to Ge Platform

Author:

Achin Albert

Publisher

Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA

Reference51 articles.

1. Liao , C.C. Chin , A. Tsai , C. 1998 Electrical characterization of Al 2 O 3 on Si from MBE-grown AlAs and Al 652

2. Electrical characterization of Al2O3 on Si from thermally oxidized AlAs and Al

3. Chin , A. Liao , C.C. Lu , C.H. Chen , W.J. Tsai , C. 1999 Device and reliability of high- k Al 2 O 3 gate dielectric with good mobility and low D it . 135

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