Regenerative Electroless Etching of Silicon

Author:

Kolasinski Kurt W.1ORCID,Gimbar Nathan J.1,Yu Haibo2,Aindow Mark2ORCID,Mäkilä Ermei3ORCID,Salonen Jarno3ORCID

Affiliation:

1. Department of Chemistry; West Chester University; West Chester PA 19383-2115 USA

2. Department of Materials Science & Engineering, Institute of Materials Science; University of Connecticut, Storrs; CT 06269-3136 USA

3. Department of Physics and Astronomy; University of Turku; 20014 Turku Finland

Publisher

Wiley

Subject

General Chemistry,Catalysis

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