Modeling for accurate dimensional scanning electron microscope metrology: then and now

Author:

Postek Michael T.,Vladár András E.

Publisher

Wiley

Subject

Instrumentation,Atomic and Molecular Physics, and Optics

Reference73 articles.

1. Seeing the forest for the trees: a new approach to CD control;Ausschnitt;Proc SPIE,1998

2. Image simulation for testing of SEM resolution measurement methods;Cizmar;Scanning,2007

3. Artificial SEM images for testing resolution-measurement methods;Cizmar;Microsc Microanal,2008a

4. Simulated SEM images for resolution measurement;Cizmar;Scanning,2008b

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