1. Instituto de Engenharia de Sistemas e Computadores – Microsistemas e Nanotecnologias (INESC MN) Lisbon 1000‐029 Portugal
2. Departamento de Física Instituto Superior Tecnico (IST) Universidade de Lisboa Lisbon 1040‐001 Portugal
3. Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems IPMS Dresden 01099 Germany
4. Singulus Technologies AG Kahl am Main 63796 Germany