1. Max Planck Institute for Biophysical Chemistry Research Group Biological Micro- and Nanotechnology Am Fassberg 11 37077 Göttingen Germany
2. Technische Universität Darmstadt Department of Electrical Engineering and Information Technology Merckstr. 25 64283 Darmstadt Germany
3. Technische Universität Braunschweig Institut für Pharmazeutische Technologie und Biopharmazie Mendelssohnstr. 1 38106 Braunschweig Germany
4. Technische Universität Braunschweig PVZ – Center of Pharmaceutical Engineering Franz-Liszt-Str. 35a 38106 Braunschweig Germany
5. Technische Universität Braunschweig Institute of Microtechnology Alte Salzdahlumer Str. 203 38124 Braunschweig Germany