Single-crystal thin-film growth of LiNbO3 for electrooptic modulator by rf sputtering method and its properties
Author:
Publisher
Wiley
Subject
Electrical and Electronic Engineering,Energy Engineering and Power Technology
Reference18 articles.
1. Lithium niobate ridge waveguide modulator
2. Optical intensity modulator with waveguide structure
3. Broad-band traveling-wave modulator using a LiNbO3optical waveguide
4. Optical waveguides of single‐crystal LiNbO3 film deposited by rf sputtering
5. et al, Properties of LiNbO3 Thin Films Fabricated by RF Sputtering, Proc. 6th Internal. Vacuum Congr., p. 749, 1974.
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