Fundamental Design of Chemical Formulations-Reference-Cited by-同舟云学术

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Fundamental Design of Chemical Formulations

Published:2011-02-22 Issue: Volume: Page:169-192
ISSN:
Container-title:Handbook of Cleaning in Semiconductor Manufacturing
language:
Short-container-title:

Author:

Rovito Robert J.,Korzenski Michael B.,Jiang Ping,Reinhardt Karen A.

Publisher

John Wiley & Sons, Inc.

Link

http://onlinelibrary.wiley.com/wol1/doi/10.1002/9781118071748.ch5/fullpdf

Reference55 articles.

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1. Post-CMOS processing challenges and design developments of CMOS-MEMS microheaters for local CNT synthesis;Microsystems & Nanoengineering;2023-11-06

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