Micromachining Using Soft X-Rays from Laser-Produced Xe Plasma
Author:
Affiliation:
1. University of Hyogo; Japan
Publisher
Wiley
Subject
Applied Mathematics,Electrical and Electronic Engineering,Computer Networks and Communications,General Physics and Astronomy,Signal Processing
Link
http://onlinelibrary.wiley.com/wol1/doi/10.1002/ecj.11746/fullpdf
Reference16 articles.
1. http://www.lasti.u-hyogo.ac.jp/NS
2. Characterization of a laser-plasma extreme-ultraviolet source using a rotating cryogenic Xe target;Amano;Appl Phys B,2010
3. Soft X-ray source by laser produced Xe plasma, IEEJ Trans;Amano;EIS,2010
4. Rotating cryogenic drum supplying a solid Xe target to generate extreme ultraviolet radiation;Fukugaki;Rev Sci Instrum,2006
5. High average and high peak brightness slab laser;Amano;IEEJ J Quant Mech,2001
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