1. Light Technology Institute (LTI)Karlsruhe Institute of Technology (KIT) Engesserstrasse 13 76131 Karlsruhe Germany
2. InnovationLab GmbH Speyerer Strasse 4 69115 Heidelberg Germany
3. Institute of Microstructure Technology (IMT)Karlsruhe Institute of Technology (KIT) Hermann‐von‐Helmholtz‐Platz 1 76344 Eggenstein‐Leopoldshafen Germany
4. Helmholtz‐Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH Hahn‐Meitner‐Platz 1 14109 Berlin Germany
5. Institute for Applied Materials (IAM)Karlsruhe Institute of Technology (KIT) Hermann‐von‐Helmholtz‐Platz 1 76344 Eggenstein‐Leopoldshafen Germany