Bergauf-Diffusion des Phosphors im Silizium

Author:

Maser K.

Publisher

Wiley

Subject

General Physics and Astronomy

Reference33 articles.

1. : Measurement of local diffusion coefficients in planar device structures. In: Semi conductor Silicon. Ed. ; ; : Pennington, NJ/USA; Electrochemical Society 1981, S. 988.

2. The effect of oxidation on the diffusion of phosphorus in silicon

3. : Beitrag zur Phosphordiffusion im Silizium. Dissertation A, TH Karl-Marx-Stadt 1981.

4. : Dotandendiffusion im Silizium bei inhomogener Vakanzenverteilung. 3. Tagung Elektronik-Technologie der Humboldt-Universität zu Berlin 1985, Berichte 1/85, 26.

5. : The Mathematics of Diffusion. Oxford: Clarendon Press 1956.

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