Nanofacet Lithography: A New Bottom-Up Approach to Nanopatterning and Nanofabrication by Soft Replication of Spontaneously Faceted Crystal Surfaces

Author:

Gabai R.,Ismach A.,Joselevich E.

Publisher

Wiley

Subject

Mechanical Engineering,Mechanics of Materials,General Materials Science

Reference26 articles.

1. Intel Corp. press release: http://www.intel.com/pressroom/archive/releases/20040802tech.htm (accessed March 2007).

2. SOFT LITHOGRAPHY

3. Soft Lithography

4. Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Vol. 2 (Ed. P. Rai-Choudhury), SPIE Press, Washington, USA 1997.

5. "Dip-Pen" Nanolithography

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