1. Foundry Institute; RWTH Aachen University; Intzestraße 5 52072 AACHEN DEUTSCHLAND
2. Chair for Laser Technology (LLT); RWTH Aachen University; Steinbachstraße 15 52074 AACHEN DEUTSCHLAND
3. Central Facility for Electron Microscopy; RWTH Aachen University; Ahornstraße 55 52074 AACHEN DEUTSCHLAND
4. Nonlinear Dynamics of Laser Processing (NLD); RWTH Aachen University; Steinbachstraße 15 52074 AACHEN DEUTSCHLAND