1. Institut für Fertigungstechnik Technische Universität Dresden George-Bähr-Str. 3c 01069 Dresden Germany
2. Integrated Center for Applied Physics and Photonic Materials and Center for Advancing Electronics Dresden (CFAED) Technische Universität Dresden Nöthnitzer Str. 61 01187 Dresden Germany
3. TOPAG Lasertechnik GmbH Nieder-Ramstädter Str. 247 64285 Darmstadt Germany
4. Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS Winterbergstr. 28 01277 Dresden Germany