1. FG Nanotechnologie Institut für Mikro‐ und Nanoelektronik und Institut für Mikro‐ und Nanotechnologien MacroNano und Institut für Werkstofftechnik TU Ilmenau Postfach 100565 98684 Ilmenau Germany
2. Zentrum für Mikro‐ und Nanotechnologien TU Ilmenau Gustav‐Kirschhoffstrasse 7 98693 Ilmenau Germany
3. Professur für Schutzsysteme Helmut‐Schmidt‐Universität, Universität der Bundeswehr Holstenhofweg 85 22043 Hamburg Germany