Elektronenstrahl-Meßtechnik zur Prüfung integrierter Schaltungen-Reference-Cited by-同舟云学术

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Elektronenstrahl-Meßtechnik zur Prüfung integrierter Schaltungen

Published:1982-08 Issue:8 Volume:38 Page:253-258
ISSN:0031-9279
Container-title:Physik Journal
language:en
Short-container-title:Phys. Bl.

Author:

Rehme Hans

Publisher

Wiley

Subject

General Medicine

Reference11 articles.

1. Die Physik der Großintegration;Folberth;Phys. Bl.,1981

2. Elektronenstrahl-Lithographie, ein Mittel zur Entwicklung Integrierter Schaltungen;Braun;Phys. Bl.,1981

3. Balk , L. J. H. P. Feuerbaum E. Kubalek E. Menzel Scanning Electron Microscopy 1976/IV ITT Res. Inst. Chicago

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Cited by 5 articles. 订阅此论文施引文献订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Meß- und Prüftechnik von Oberflächen und dünnen Schichten;WFT Werkstoff-Forschung und -Technik;1987

2. Analytical science for the development of microelectronic devices;Fresenius' Zeitschrift für analytische Chemie;1986-01

3. Die Rolle der Physik in der modernen Elektronik;Physik Journal;1984-08

4. Applications of low-temperature scanning electron microscopy;Reports on Progress in Physics;1984-02-01

5. Heavy Ion Induced Electron Emission from Solid Surfaces;Physica Scripta;1983-01-01

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