Affiliation:
1. Physikalisch‐Technische Bundesanstalt Abbestr. 2‐12 10587 Berlin Germany
Abstract
ZusammenfassungEin neuartiges Ionisationsvakuummeter bietet eine Lösung für die bisher unzureichende Stabilität kommerziell erhältlicher Geräte und ermöglicht vorhersagbare Empfindlichkeiten. Dies wird durch eine geradlinige Führung der ionisierenden Elektronen auf ihrem Weg durch den Ionisationsraum ermöglicht. Das neue Hochvakuum‐messgerät ist für Anwendungen als Referenzmessgerät und in Prozessanlagen, bei denen hohe Reproduzierbarkeit gefordert ist, geeignet. Selbst ohne Kalibrierung bietet das Gerät eine Messunsicherheit von unter 5% und ist daher sowohl für Hersteller wie für Anwender auch kommerziell interessant.
Subject
Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics