Ultra‐precise surface structuring in nanometer scale
Author:
Affiliation:
1. Fraunhofer IPT Steinbachstraße 17 52074 Aachen
Publisher
Wiley
Subject
Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics
Link
https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/vipr.202200783
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