Design and fabrication of a differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes

Author:

Tsuchiya Toshiyuki,Hamaguchi Hiroyuki,Sugano Koji,Tabata Osamu

Publisher

Wiley

Subject

Electrical and Electronic Engineering

Reference4 articles.

1. A z-axis differential capacitive SOI accelerometer with vertical comb electrode;Tsuchiya;Sensors and Actuators,1999

2. High aspect ratio micromirrors with large static rotation and piston actuation;Milanovic;IEEE Photonics Technology Letters,2004

3. SOI-based fabrication processes of the scanning mirror having vertical comb fingers;Lee;Sensors and Actuators,2002

4. Shibata T, Ootani R, Komai K, Inoue T. Basic of mechanics of materials, Chapter 5, Baihukan, Tokyo, 1991.

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