Low Temperature Epitaxial Barium Titanate Thin Film Growth in High Vacuum CVD

Author:

Reinke Michael12,Kuzminykh Yury12,Eltes Felix3,Abel Stefan3,LaGrange Thomas4,Neels Antonia5,Fompeyrine Jean3,Hoffmann Patrik12

Affiliation:

1. Laboratory for Advanced Materials Processing; Empa; Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology; Feuerwerkerstrasse 39 CH-3602 Thun Switzerland

2. Laboratory for Photonic Materials and Characterization; Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne; Station 17 CH-1015 Lausanne Switzerland

3. IBM Research-Zurich; Säumerstrasse 4 CH-8803 Rüschlikon Switzerland

4. Interdisciplinary Centre for Electron Microscopy; Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne; Station 12 CH-1015 Lausanne Switzerland

5. Center for X-ray Analytics; Empa; Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology; Überlandstrasse 129 CH-8600 Dübendorf Switzerland

Funder

Schweizerischer Nationalfonds zur Förderung der Wissenschaftlichen Forschung

Horizon 2020

Publisher

Wiley

Subject

Mechanical Engineering,Mechanics of Materials

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