1. Department of Microsystems Engineering (IMTEK) University of Freiburg Georges‐Köhler‐Allee 105 Freiburg 79110 Germany
2. Freiburg Center for Interactive Materials and Bioinspired Technologies (FIT) University of Freiburg Georges‐Köhler‐Allee 105 Freiburg 79110 Germany
3. Institut für Materialwissenschaft und Werkstoffkunde Universität des Saarlandes Campus Saarbrücken 66123 Germany